由于此一优点，3m胶带 附着力等离子体系统的工作压力可以延伸到0.133mPa以下，低工作压力的好处在于粒子的mean-fiee-path大，借由偏压电场可以辅助带电粒子游向晶片的入射方向，不致因受到太多的碰撞而产生散射效应。此入射方向决定蚀刻角度的关键参数。在0.133～1．333111Pa的压力
